FEP胶带在半导体的光刻工艺中的掩膜保护

发布时间 : 2025-12-05  浏览次数 :

FEP胶带在半导体的光刻工艺中的掩膜保护

- 应用场景:在光刻过程中,FEP胶带可作为临时掩膜或覆盖层,保护特定区域免受曝光或刻蚀

 

优势:

- 高透明度:对紫外光(UV)和深紫外光(DUV)的透过率较高,适合某些光刻需求。

- 低污染:无析出物,避免影响光刻胶的附着性和图案精度。