产品应用
FEP胶带在半导体的光刻工艺中的掩膜保护
发布时间 : 2025-12-05 浏览次数 : 次FEP胶带在半导体的光刻工艺中的掩膜保护
- 应用场景:在光刻过程中,FEP胶带可作为临时掩膜或覆盖层,保护特定区域免受曝光或刻蚀。
优势:
- 高透明度:对紫外光(UV)和深紫外光(DUV)的透过率较高,适合某些光刻需求。
- 低污染:无析出物,避免影响光刻胶的附着性和图案精度。
FEP胶带在半导体的光刻工艺中的掩膜保护
- 应用场景:在光刻过程中,FEP胶带可作为临时掩膜或覆盖层,保护特定区域免受曝光或刻蚀。
优势:
- 高透明度:对紫外光(UV)和深紫外光(DUV)的透过率较高,适合某些光刻需求。
- 低污染:无析出物,避免影响光刻胶的附着性和图案精度。